瓦克在博格豪森扩大半导体级多晶硅产能

瓦克计划在博格豪森生产基地建设清洗半导体级多晶硅的新生产线

2025年初投产后，现有清洗产能将大幅提升50%以上

设备及基础设施投资规模逾3亿欧元，可创建100多个新的就业机会

瓦克已向德国联邦经济与能源部递交研发及创新投资资金申请

瓦克集团总裁兼首席执行官贺达（CHRISTIAN HARTEL）表示：“我们通过此次扩建项目，为多晶硅纯度设立了又一新标杆，以此为客户实现技术路线图中的目标做出重要贡献。”

编号, 2023年06月12日

瓦克化学股份有限公司将扩建半导体级多晶硅提纯产能。这家总部位于慕尼黑的化学集团今天公布了这一消息。按计划，博格豪森生产基地将于2025年初前建成一条新的生产线，届时，产能将大幅提高，比现在增加逾50%。多晶硅块浸蚀工艺是确保半导体应用对材料表面洁净度要求的一个关键的生产步骤。此次项目总体投资规模预计约逾3亿欧元，可在瓦克博格豪森生产基地创建100多个新的工作岗位，并为合作伙伴公司创造更多就业机会。

Polysilicon_Polysilicium — 用于半导体硅片生产的多晶硅必须具备极高的表面洁净度：瓦克现正在博格豪森生产基地投资扩建半导体级多晶硅清洗产能。（图片：瓦克化学股份有限公司）

除扩建产能外，该项目还包含大笔研发与创新投资，意在借助高度自动化的新工艺，进一步提高多晶硅纯度，以使半导体的结构宽度更小，功能更强大。瓦克为总项目的这一部分向欧盟申请了“欧洲共同利益重要项目（IPCEI）”资助，并于2023年6月8日得到欧盟委员会批准。该申请获得德国联邦经济与能源部进一步批准后，瓦克预计将获得最高达4600万欧元的资金。

瓦克总裁兼首席执行官贺达表示：“作为欧洲唯一的高纯度多晶硅生产商，我们很荣幸能够通过这个项目为强化欧洲微电子产品价值链做重要贡献。”他指出，该投资项目也是瓦克集团战略的重要组成部分，即，继续聚焦为超高质量要求的应用提供多晶硅。他说：“通过扩建硅块表面清洗产能，我们不仅能够为满足半导体行业客户不断快速增长的需求创造条件，也可让自己在材料质量方面再上一个台阶，为半导体工业最新技术发展提供支持。”

瓦克在去年3月公布增长新目标时宣布，旗下多晶硅业务部门将在为具有超高转换效率的太阳能电池提供材料的同时，扩大面向半导体应用的产能。瓦克多晶硅业务部门的目标，是在2030年前将面向半导体客户的销售额翻一番。瓦克今后几年将每年为此投资约1亿欧元。

多晶硅块是半导体用硅片生产的基础材料，其表面清洗是一种复杂且技术要求极高的工艺，需要在浸蚀工序中借助强酸去除多晶硅表面的最外一层，然后在洁净室条件下进行包装，为向客户发货做准备。瓦克新设备使用高新技术和高度自动化工艺，所能达到的表面洁净度现在即可满足半导体科技未来发展对硅片日益严格的要求。