SEMICOSIL® 4MS-EL

Tetramethylsilane (TMS) is a low-boiling colorless liquid.

  • CAS Nr. 75-76-3
  • Summenformel C4H12Si
  • Molekulargewicht 88,2

Eigenschaften

- hohe Reinheit
- niedriger Metallgehalt
- niedriger Chloridgehalt


SEMICOSIL® 4MS-EL was developed for the semiconductor industry, e.g. as precursor for low dielectric constant interlayer dielectrics.

Lagerung

Das Mindesthaltbarkeitsdatum der jeweiligen Charge ist auf dem Produktetikett angegeben. Eine Lagerung über den auf dem Produktetikett angegebenen Zeitraum hinaus bedeutet nicht notwendigerweise, dass die Ware unbrauchbar ist. Eine Überprüfung der für den jeweiligen Einsatzzweck erforderlichen Eigenschaftswerte ist jedoch in diesem Falle aus Gründen der Qualitätssicherung unerlässlich.

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