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SEMICOSIL® OCTS

SEMICOSIL® OCTS is Octachlorotrisilane for the use in the semiconductor industry.

  • CAS Nr. 13596-23-1
  • Summenformel Si3Cl8
  • Molekulargewicht 367,88

Eigenschaften

SEMICOSIL® OCTS is used as precursor in ALD and CVD processes.

Verpackung / Gebinde

0,2kg in a sample bottle or 27kg in a 5ga pressure canister.

Lagerung

Do not store at high temperature.

Vertrieb & Support

Wacker Chemicals Middle East
Dubai Silicon Oasis s/n
0001 Dubai
Vereinigte Arabische Emirate
+971  4  709-9999 (Phone)
+971 4 709-9911  (Fax)
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SEMICOSIL® 8MCTS-EL > 99.9 %[1] > 99.9 %[1]
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[1] Content Assay by Gas Chromatography 

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Heilbronner Strasse 74
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