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SEMICOSIL® 4MS-EL

Tetramethylsilane (TMS) is a low-boiling colorless liquid.

  • CAS编号 75-76-3
  • 实验式 C4H12Si
  • 分子量 88,2

特性

- high purity
- low metal content
- low chloride content

SEMICOSIL® 4MS-EL was developed for the semiconductor industry, e.g. as precursor for low dielectric constant interlayer dielectrics.

 

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