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SEMICOSIL® M3E

SEMICOSIL® M3E is Methyltriethoxysilane of high purity.

  • 实验式 C7H18O3Si
  • 分子量 178.30

特性

  • high purity
  • low metal content
  • low chloride content

SEMICOSIL® M3E was developed for the semiconductor industry, e.g. as precursor for low dielectric constant interlayer dielectrics.

 

储存

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Heilbronner Strasse 74
70191 Stuttgart
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