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SEMICOSIL® M3E

SEMICOSIL® M3E is Methyltriethoxysilane of high purity.

  • Summenformel C7H18O3Si
  • Molekulargewicht 178.30

Eigenschaften

- hohe Reinheit
- niedriger Metallgehalt
- niedriger Chloridgehalt


SEMICOSIL® M3E was developed for the semiconductor industry, e.g. as precursor for low dielectric constant interlayer dielectrics.

Lagerung

Das Mindesthaltbarkeitsdatum der jeweiligen Charge ist auf dem Produktetikett angegeben. Eine Lagerung über den auf dem Produktetikett angegebenen Zeitraum hinaus bedeutet nicht notwendigerweise, dass die Ware unbrauchbar ist. Eine Überprüfung der für den jeweiligen Einsatzzweck erforderlichen Eigenschaftswerte ist jedoch in diesem Falle aus Gründen der Qualitätssicherung unerlässlich.

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