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SEMICOSIL® HMN-EL

$SEMICOSIL<sup>®</sup> HMN-EL

SEMICOSIL® HMN-EL is Hexamethyldisilazane of high purity.

  • CAS Nr. 999-97-3
  • Summenformel C6H19NSi2
  • Molekulargewicht 161

Eigenschaften

- hohe Reinheit
- niedriger Metallgehalt
- niedriger Chloridgehalt
- niedriger Abdampfrückstand


SEMICOSIL® HMN-EL was developed for photoresists used in the semiconductor manufacture. It can be used e.g. as adhesion promoter or as silylating agent in processes such as chemical amplification.

Lagerung

Das Mindesthaltbarkeitsdatum der jeweiligen Charge ist auf dem Produktetikett angegeben. Eine Lagerung über den auf dem Produktetikett angegebenen Zeitraum hinaus bedeutet nicht notwendigerweise, dass die Ware unbrauchbar ist. Eine Überprüfung der für den jeweiligen Einsatzzweck erforderlichen Eigenschaftswerte ist jedoch in diesem Falle aus Gründen der Qualitätssicherung unerlässlich.

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